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全自動(dòng)晶片倒角機(jī)

全自動(dòng)晶片倒角機(jī)專門(mén)設(shè)計(jì)為（碳化硅）材料進(jìn)行邊修整的設(shè)備，通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)砂輪來(lái)加工晶片外徑、OF或notch。
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晶圓減薄機(jī)

晶圓減薄機(jī)適用于硅、鍺、石英、砷化鎵、陶瓷、藍(lán)寶石和碳化硅等硬脆材料的精密減薄，同時(shí)也適用于集成電路、分離器件、LED芯片等的背面減薄，通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)砂輪來(lái)加工晶片厚度。
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真空熱壓爐

真空熱壓爐應(yīng)用于真空條件下進(jìn)行碳化硅籽晶壓接，也可用于硬質(zhì)合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高溫、高真空條件下進(jìn)行熱壓燒結(jié)處理，也可在充氣保護(hù)情況下熱壓成形燒結(jié)。
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碳化硅長(zhǎng)晶爐(6吋感應(yīng)式)

碳化硅長(zhǎng)晶爐(6吋感應(yīng)式)為使用物理氣相傳輸法為基礎(chǔ)方法的立式感應(yīng)加熱爐，適用于6英寸碳化硅的晶體生長(zhǎng)。
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碳化硅長(zhǎng)晶爐(8吋感應(yīng)式-雙線圈)

碳化硅長(zhǎng)晶爐(8吋感應(yīng)式-雙線圈)為使用物理氣相傳輸法為基礎(chǔ)方法的立式感應(yīng)加熱爐，適用于8英寸碳化硅的晶體生長(zhǎng)。
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碳化硅長(zhǎng)晶爐(8吋感應(yīng)式)

碳化硅長(zhǎng)晶爐(8吋感應(yīng)式)為使用物理氣相傳輸法為基礎(chǔ)方法的立式感應(yīng)電阻加熱爐，適用于8英寸碳化硅的晶體生長(zhǎng)。
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